TY - RPRT TI - Simulating the fabrication of aluminium oxide tunnel junctions AU - M. J. Cyster AU - J. S. Smith AU - N. Vogt AU - G. Opletal AU - S. P. Russo AU - J. H. Cole PY - 2020 DO - 10.1038/s41534-020-00360-4 UR - https://arxiv.org/abs/2005.06687 ID - 2005.06687 ER -