TY  - RPRT
TI  - Wafer-scale Heterogeneous Integration of Monocrystalline \b{eta}-Ga2O3 Thin Films on SiC for Thermal Management by Ion-Cutting Technique
AU  - Zhe Cheng
AU  - Fengwen Mu
AU  - Tiangui You
AU  - Wenhui Xu
AU  - Jingjing Shi
AU  - Michael E. Liao
AU  - Yekan Wang
AU  - Kenny Huynh
AU  - Tadatomo Suga
AU  - Mark S. Goorsky
AU  - Xin Ou
AU  - Samuel Graham
PY  - 2020
UR  - https://arxiv.org/abs/2005.13098
ID  - 2005.13098
ER  -