TY  - RPRT
TI  - High-yield wafer-scale fabrication of ultralow-loss, dispersion-engineered silicon nitride photonic circuits
AU  - Junqiu Liu
AU  - Guanhao Huang
AU  - Rui Ning Wang
AU  - Jijun He
AU  - Arslan S. Raja
AU  - Tianyi Liu
AU  - Nils J. Engelsen
AU  - Tobias J. Kippenberg
PY  - 2020
DO  - 10.1038/s41467-021-21973-z
UR  - https://arxiv.org/abs/2005.13949
ID  - 2005.13949
ER  -