TY  - RPRT
TI  - MEMS Heat Flux Sensor
AU  - Antti Immonen
AU  - Saku Levikari
AU  - Feng Gao
AU  - Mikko Kuisma
AU  - Pertti Silventoinen
PY  - 2020
UR  - https://arxiv.org/abs/2006.02808
ID  - 2006.02808
ER  -