TY  - RPRT
TI  - Multiscale simulation of the focused electron beam induced deposition process
AU  - Pablo de Vera
AU  - Martina Azzolini
AU  - Gennady Sushko
AU  - Isabel Abril
AU  - Rafael Garcia-Molina
AU  - Maurizio Dapor
AU  - Ilia A. Solov'yov
AU  - Andrey V. Solov'yov
PY  - 2020
DO  - 10.1038/s41598-020-77120-z
UR  - https://arxiv.org/abs/2006.04085
ID  - 2006.04085
ER  -