TY - RPRT TI - Bidirectional Self-Folding with Atomic Layer Deposition Nanofilms for Microscale Origami AU - Baris Bircan AU - Marc Z. Miskin AU - Robert J. Lang AU - Michael C. Cao AU - Kyle J. Dorsey AU - Muhammad G. Salim AU - Wei Wang AU - David A. Muller AU - Paul L. McEuen AU - Itai Cohen PY - 2020 DO - 10.1021/acs.nanolett.0c00824 UR - https://arxiv.org/abs/2006.10269 ID - 2006.10269 ER -