TY - RPRT TI - Coherent superconducting qubits from a subtractive junction fabrication process AU - Alexander Stehli AU - Jan David Brehm AU - Tim Wolz AU - Paul Baity AU - Sergey Danilin AU - Valentino Seferai AU - Hannes Rotzinger AU - Alexey V. Ustinov AU - Martin Weides PY - 2020 DO - 10.1063/5.0023533 UR - https://arxiv.org/abs/2006.16862 ID - 2006.16862 ER -