TY  - RPRT
TI  - Soft chemistry assisted On-chip Integration of Nanostructured quartz-based Piezoelectric Microelectromechanical System
AU  - Claire Jolly
AU  - Andres Gomez
AU  - David Sanchez-Fuentes
AU  - Dilek Cakiroglu
AU  - Raissa Rathar
AU  - Nicolas Maurin
AU  - Ricardo Garcia-Bermejo
AU  - Benoit Charlot
AU  - Marti Gich
AU  - Michael Bahriz
AU  - Laura Picas
AU  - Adrian Carretero-Genevrier
PY  - 2020
UR  - https://arxiv.org/abs/2007.07566
ID  - 2007.07566
ER  -