TY  - RPRT
TI  - Shadow-wall lithography of ballistic superconductor-semiconductor quantum devices
AU  - Sebastian Heedt
AU  - Marina Quintero-Pérez
AU  - Francesco Borsoi
AU  - Alexandra Fursina
AU  - Nick van Loo
AU  - Grzegorz P. Mazur
AU  - Michał P. Nowak
AU  - Mark Ammerlaan
AU  - Kongyi Li
AU  - Svetlana Korneychuk
AU  - Jie Shen
AU  - May An Y. van de Poll
AU  - Ghada Badawy
AU  - Sasa Gazibegovic
AU  - Kevin van Hoogdalem
AU  - Erik P. A. M. Bakkers
AU  - Leo P. Kouwenhoven
PY  - 2020
DO  - 10.1038/s41467-021-25100-w
UR  - https://arxiv.org/abs/2007.14383
ID  - 2007.14383
ER  -