TY  - RPRT
TI  - DAMO: Deep Agile Mask Optimization for Full Chip Scale
AU  - Guojin Chen
AU  - Wanli Chen
AU  - Yuzhe Ma
AU  - Haoyu Yang
AU  - Bei Yu
PY  - 2020
DO  - 10.1145/3400302.3415705
UR  - https://arxiv.org/abs/2008.00806
ID  - 2008.00806
ER  -