TY - RPRT TI - Nanoscale control of LaAlO3/SrTiO3 metal-insulator transition using ultra-low-voltage electron-beam lithography AU - Dengyu Yang AU - Shan Hao AU - Jun Chen AU - Qing Guo AU - Muqing Yu AU - Yang Hu AU - KiTae Eom AU - Jung-Woo Lee AU - Chang-Beom Eom AU - Patrick Irvin AU - Jeremy Levy PY - 2020 DO - 10.1063/5.0027480 UR - https://arxiv.org/abs/2008.12906 ID - 2008.12906 ER -