TY  - RPRT
TI  - Large-area femtosecond laser milling of silicon employing trench analysis
AU  - Arun Bhaskar
AU  - Justine Philippe
AU  - Flavie Braud
AU  - Etienne Okada
AU  - Vanessa Avramovic
AU  - Jean-François Robillard
AU  - Cédric Durand
AU  - Daniel Gloria
AU  - Christophe Gaquière
AU  - Emmanuel Dubois
PY  - 2020
DO  - 10.1016/j.optlastec.2020.106866
UR  - https://arxiv.org/abs/2008.13205
ID  - 2008.13205
ER  -