TY  - RPRT
TI  - Deterministic Single Ion Implantation with 99.87% Confidence for Scalable Donor-Qubit Arrays in Silicon
AU  - Alexander M. Jakob
AU  - Simon G. Robson
AU  - Vivien Schmitt
AU  - Vincent Mourik
AU  - Matthias Posselt
AU  - Daniel Spemann
AU  - Brett C. Johnson
AU  - Hannes R. Firgau
AU  - Edwin Mayes
AU  - Jeffrey C. McCallum
AU  - Andrea Morello
AU  - David N. Jamieson
PY  - 2020
DO  - 10.1002/adma.202103235
UR  - https://arxiv.org/abs/2009.02892
ID  - 2009.02892
ER  -