TY  - RPRT
TI  - Isotopic enrichment of silicon by high fluence $^{28}$Si$^-$ ion implantation
AU  - D. Holmes
AU  - B. C. Johnson
AU  - C. Chua
AU  - B. Voisin
AU  - S. Kocsis
AU  - S. Rubanov
AU  - S. G. Robson
AU  - J. C. McCallum
AU  - D. R McCamey
AU  - S. Rogge
AU  - D. N. Jamieson
PY  - 2020
DO  - 10.1103/physrevmaterials.5.014601
UR  - https://arxiv.org/abs/2009.08594
ID  - 2009.08594
ER  -