TY  - RPRT
TI  - Edge mode engineering for optimal ultracoherent silicon nitride membranes
AU  - E. Ivanov
AU  - T. Capelle
AU  - M. Rosticher
AU  - J. Palomo
AU  - T. Briant
AU  - P. -F. Cohadon
AU  - A. Heidmann
AU  - T. Jacqmin
AU  - S. Deléglise
PY  - 2020
DO  - 10.1063/5.0031626
UR  - https://arxiv.org/abs/2010.00898
ID  - 2010.00898
ER  -