TY  - RPRT
TI  - Surface temperature analysis of a hot titanium target in argon magnetron sputtering system
AU  - Haci Ahmedov
AU  - Aleksandr A. Kozin
AU  - Viktor I. Shapovalov
AU  - Aygerim N. Djandalieva
AU  - Arif Demir
AU  - Beste Korutlu
PY  - 2020
UR  - https://arxiv.org/abs/2010.01957
ID  - 2010.01957
ER  -