TY  - RPRT
TI  - High-quality Tailored-edge Cleaving Using Aberration-corrected Bessel-like Beams
AU  - Michael Jenne
AU  - Daniel Flamm
AU  - Taofiq Ouaj
AU  - Julian Hellstern
AU  - Jonas Kleiner
AU  - Daniel Grossmann
AU  - Maximilian Koschig
AU  - Myriam Kaiser
AU  - Malte Kumkar
AU  - Stefan Nolte
PY  - 2020
DO  - 10.1364/ol.43.003164
UR  - https://arxiv.org/abs/2010.10226
ID  - 2010.10226
ER  -