TY  - RPRT
TI  - Ultrahigh Vacuum Packaging and Surface Cleaning for Quantum Devices
AU  - M. Mergenthaler
AU  - S. Paredes
AU  - P. Müller
AU  - C. Müller
AU  - S. Filipp
AU  - M. Sandberg
AU  - J. Hertzberg
AU  - V. P. Adiga
AU  - M. Brink
AU  - A. Fuhrer
PY  - 2020
DO  - 10.1063/5.0034574
UR  - https://arxiv.org/abs/2010.12090
ID  - 2010.12090
ER  -