TY  - RPRT
TI  - Particle lofting from substrate exposed to plasma and electron beam
AU  - P. V. Krainov
AU  - V. V. Ivanov
AU  - D. I. Astakhov
AU  - V. V. Medvedev
AU  - V. V. Kvon
AU  - A. M. Yakunin
AU  - M. A. van de Kerkhof
PY  - 2020
UR  - https://arxiv.org/abs/2011.09204
ID  - 2011.09204
ER  -