TY  - RPRT
TI  - Laser Processing For 3D Junctionless Transistor Fabrication
AU  - D. Bosch
AU  - P. Acosta Alba
AU  - S. Kerdiles
AU  - V. Benevent
AU  - C. Perrot
AU  - J. Lassarre
AU  - J. Richy
AU  - J. Lacord
AU  - B. Sklenard
AU  - L. Brunet
AU  - P. Batude
AU  - C. Fenouillet-Beranger
AU  - D. Lattard
AU  - J. P. Colinge
AU  - F. Balestra
AU  - F. Andrieu
PY  - 2020
UR  - https://arxiv.org/abs/2011.15061
ID  - 2011.15061
ER  -