TY - RPRT TI - $γ$-phase Inclusions as Common Defects in Alloyed $β$-(Al$_x$Ga$_{1\text{-}x}$)$_2$O$_3$ and Doped $β$-Ga$_2$O$_3$ Films AU - Celesta S. Chang AU - Nicholas Tanen AU - Vladimir Protasenko AU - Thaddeus J. Asel AU - Shin Mou AU - Huili Grace Xing AU - Debdeep Jena AU - David A. Muller PY - 2020 DO - 10.1063/5.0038861 UR - https://arxiv.org/abs/2012.00263 ID - 2012.00263 ER -