TY  - RPRT
TI  - Unmasking the resolution$-$throughput tradespace of focused-ion-beam machining
AU  - Andrew C. Madison
AU  - John S. Villarrubia
AU  - Kuo-Tang Liao
AU  - Craig R. Copeland
AU  - Joshua Schumacher
AU  - Kerry Siebein
AU  - B. Robert Ilic
AU  - J. Alexander Liddle
AU  - Samuel M. Stavis
PY  - 2022
DO  - 10.1002/adfm.202111840
UR  - https://arxiv.org/abs/2012.01678
ID  - 2012.01678
ER  -