TY  - RPRT
TI  - Toward volume manufacturing of high-performance soft x-ray critical-angle transmission gratings
AU  - Ralf K. Heilmann
AU  - Alexander R. Bruccoleri
AU  - Jungki Song
AU  - Matthew T. Cook
AU  - James A. Gregory
AU  - Renee D. Lambert
AU  - Dimitri A. Shapiro
AU  - Douglas J. Young
AU  - Miranda Bradshaw
AU  - Vadim Burwitz
AU  - Gisela D. Hartner
AU  - Andreas Langmeier
AU  - Randall K. Smith
AU  - Mark L. Schattenburg
PY  - 2020
DO  - 10.1117/12.2562388
UR  - https://arxiv.org/abs/2012.04607
ID  - 2012.04607
ER  -