TY  - RPRT
TI  - Characterization of low-loss hydrogenated amorphous silicon films for superconducting resonators
AU  - Bruno T. Buijtendorp
AU  - Juan Bueno
AU  - David J. Thoen
AU  - Vignesh Murugesan
AU  - Paolo M. Sberna
AU  - Jochem J. A. Baselmans
AU  - Sten Vollebregt
AU  - Akira Endo
PY  - 2020
DO  - 10.1117/1.jatis.8.2.028006
UR  - https://arxiv.org/abs/2012.07692
ID  - 2012.07692
ER  -