TY  - RPRT
TI  - Structured light for ultrafast laser micro- and nanoprocessing
AU  - Daniel Flamm
AU  - Daniel Günther Grossmann
AU  - Marc Sailer
AU  - Myriam Kaiser
AU  - Felix Zimmermann
AU  - Keyou Chen
AU  - Michael Jenne
AU  - Jonas Kleiner
AU  - Julian Hellstern
AU  - Christoph Tillkorn
AU  - Dirk H Sutter
AU  - Malte Kumkar
PY  - 2021
DO  - 10.1117/1.oe.60.2.025105
UR  - https://arxiv.org/abs/2012.10119
ID  - 2012.10119
ER  -