TY  - RPRT
TI  - Virtual IED sensor for df rf CCP discharges
AU  - M. Bogdanova
AU  - D. Lopaev
AU  - T. Rakhimova
AU  - D. Voloshin
AU  - A. Zotovich
AU  - S. Zyryanov
PY  - 2020
DO  - 10.1088/1361-6595/abf71b
UR  - https://arxiv.org/abs/2012.14882
ID  - 2012.14882
ER  -