TY - RPRT TI - Mass sensing for the advanced fabrication of nanomechanical resonators AU - G. Gruber AU - C. Urgell AU - A. Tavernarakis AU - A. Stavrinadis AU - S. Tepsic AU - C. Magen AU - S. Sangiao AU - J. M. de Teresa AU - P. Verlot AU - A. Bachtold PY - 2021 DO - 10.1021/acs.nanolett.9b02351 UR - https://arxiv.org/abs/2101.09201 ID - 2101.09201 ER -