TY  - RPRT
TI  - Fabrication of photonic resonators in bulk 4H-SiC
AU  - Otto Cranwell Schaeper
AU  - Johannes E. Fröch
AU  - Sejeong Kim
AU  - Zhao Mu
AU  - Milos Toth
AU  - Weibo Gao
AU  - Igor Aharonovich
PY  - 2021
UR  - https://arxiv.org/abs/2101.09649
ID  - 2101.09649
ER  -