TY  - RPRT
TI  - Scalable creation of silicon-vacancy color centers in diamond by ion implantation through a 1-$μ$m pinhole
AU  - L. Hunold
AU  - S. Lagomarsino
AU  - A. M. Flatae
AU  - H. Kambalathmana
AU  - F. Sledz
AU  - S. Sciortino
AU  - N. Gelli
AU  - L. Giuntini
AU  - M. Agio
PY  - 2021
DO  - 10.1002/qute.202100079
UR  - https://arxiv.org/abs/2102.00076
ID  - 2102.00076
ER  -