TY  - RPRT
TI  - A flexible 300 mm integrated Si MOS platform for electron- and hole-spin qubits exploration
AU  - R. Li
AU  - N. I. Dumoulin Stuyck
AU  - S. Kubicek
AU  - J. Jussot
AU  - B. T. Chan
AU  - F. A. Mohiyaddin
AU  - A. Elsayed
AU  - M. Shehata
AU  - G. Simion
AU  - C. Godfrin
AU  - Y. Canvel
AU  - Ts. Ivanov
AU  - L. Goux
AU  - B. Govoreanu
AU  - I. P. Radu
PY  - 2021
UR  - https://arxiv.org/abs/2102.03929
ID  - 2102.03929
ER  -