TY  - RPRT
TI  - Thermal and Oxidation Stability of Ti$_x$W$_{1-x}$ Diffusion Barriers Investigated by Soft and Hard X-ray Photoelectron Spectroscopy
AU  - Curran Kalha
AU  - Sebastian Bichelmaier
AU  - Nathalie K. Fernando
AU  - Judith. V. Berens
AU  - Pardeep K. Thakur
AU  - Tien-Lin Lee
AU  - Julio. J. Gutiérrez-Moreno
AU  - Stephan Mohr
AU  - Laura E. Ratcliff
AU  - Michael Reisinger
AU  - Johannes Zechner
AU  - Michael Nelhiebel
AU  - Anna Regoutz
PY  - 2021
DO  - 10.1063/5.0048304
UR  - https://arxiv.org/abs/2102.09845
ID  - 2102.09845
ER  -