TY  - RPRT
TI  - Ion implantation in \b{eta}-Ga2O3: physics and technology
AU  - Alena Nikolskaya
AU  - Evgenia Okulich
AU  - Dmitry Korolev
AU  - Anton Stepanov
AU  - Dmitry Nikolichev
AU  - Alexey Mikhaylov
AU  - David Tetelbaum
AU  - Aleksei Almaev
AU  - Charles Airton Bolzan
AU  - Antônio Jr Buaczik
AU  - Raquel Giulian
AU  - Pedro Luis Grande
AU  - Ashok Kumar
AU  - Mahesh Kumar
AU  - Daniela Gogova
PY  - 2021
DO  - 10.1116/6.0000928
UR  - https://arxiv.org/abs/2102.13439
ID  - 2102.13439
ER  -