TY  - RPRT
TI  - PHIDL: Python CAD layout and geometry creation for nanolithography
AU  - A. N. McCaughan
AU  - A. M. Tait
AU  - S. M. Buckley
AU  - D. M. Oh
AU  - J. T. Chiles
AU  - J. M. Shainline
AU  - S. W. Nam
PY  - 2021
DO  - 10.1116/6.0001203
UR  - https://arxiv.org/abs/2103.01152
ID  - 2103.01152
ER  -