TY  - RPRT
TI  - Area-selective deposition and B $δ$-doping of Si(100) with BCl$_{3}$
AU  - K. J. Dwyer
AU  - S. Baek
AU  - Azadeh Farzaneh
AU  - Michael Dreyer
AU  - J. R. Williams
AU  - R. E. Butera
PY  - 2021
DO  - 10.1021/acsami.1c10616
UR  - https://arxiv.org/abs/2103.07529
ID  - 2103.07529
ER  -