TY  - RPRT
TI  - Growth of Aluminum Nitride on a Silicon Nitride Substrate for Hybrid Photonic Circuits
AU  - G. Terrasanta
AU  - M. Müller
AU  - T. Sommer
AU  - S. Geprägs
AU  - R. Gross
AU  - M. Althammer
AU  - M. Poot
PY  - 2021
DO  - 10.1088/2633-4356/ac08ed
UR  - https://arxiv.org/abs/2103.08318
ID  - 2103.08318
ER  -