TY  - RPRT
TI  - Fabrication of superconducting through-silicon vias
AU  - Justin L. Mallek
AU  - Donna-Ruth W. Yost
AU  - Danna Rosenberg
AU  - Jonilyn L. Yoder
AU  - Gregory Calusine
AU  - Matt Cook
AU  - Rabindra Das
AU  - Alexandra Day
AU  - Evan Golden
AU  - David K. Kim
AU  - Jeffery Knecht
AU  - Bethany M. Niedzielski
AU  - Mollie Schwartz
AU  - Arjan Sevi
AU  - Corey Stull
AU  - Wayne Woods
AU  - Andrew J. Kerman
AU  - William D. Oliver
PY  - 2021
UR  - https://arxiv.org/abs/2103.08536
ID  - 2103.08536
ER  -