TY  - RPRT
TI  - On the electron energy distribution function in the high power impulse magnetron sputtering discharge
AU  - Martin Rudolph
AU  - A. Revel
AU  - D. Lundin
AU  - H. Hajihoseini
AU  - N. Brenning
AU  - M. A. Raadu
AU  - A. Anders
AU  - T. M. Minea
AU  - J. T. Gudmundsson
PY  - 2021
DO  - 10.1088/1361-6595/abefa8
UR  - https://arxiv.org/abs/2103.10902
ID  - 2103.10902
ER  -