TY  - RPRT
TI  - High-Q silicon nitride drum resonators strongly coupled to gates
AU  - Xin Zhou
AU  - Srisaran Venkatachalam
AU  - Ronghua Zhou
AU  - Hao Xu
AU  - Alok Pokharel
AU  - Andrew Fefferman
AU  - Mohammed Zaknoune
AU  - Eddy Collin
PY  - 2021
DO  - 10.1021/acs.nanolett.1c01477
UR  - https://arxiv.org/abs/2104.07142
ID  - 2104.07142
ER  -