TY  - RPRT
TI  - Thermal Annealing of High Dose P Implantation in 4H-SiC
AU  - Cristiano Calabretta
AU  - Massimo Zimbone
AU  - Eric G. Barbagiovanni
AU  - Simona Boninelli
AU  - Nico Piluso
AU  - Andrea Severino
AU  - Maria A. Di Stefano
AU  - Simona Lorenti
AU  - Lucia Calcagno
AU  - Francesco La Via
PY  - 2021
DO  - 10.4028/www.scientific.net
UR  - https://arxiv.org/abs/2104.08882
ID  - 2104.08882
ER  -