TY  - RPRT
TI  - Deep UV photolithography enhanced geometric homogeneity for low loss photonic crystal waveguides
AU  - Yahui Xiao
AU  - Feifan Wang
AU  - Dun Mao
AU  - Thomas Kananen
AU  - Tiantian Li
AU  - Hwaseob Lee
AU  - Zi Wang
AU  - Tingyi Gu
PY  - 2021
UR  - https://arxiv.org/abs/2104.09293
ID  - 2104.09293
ER  -