TY  - RPRT
TI  - Atomic Layer Deposition of Yttrium Iron Garnet Thin Films for 3D Magnetic Structures
AU  - M. Lammel
AU  - D. Scheffler
AU  - D. Pohl
AU  - P. Swekis
AU  - S. Reitzig
AU  - H. Reichlova
AU  - R. Schlitz
AU  - K. Geishendorf
AU  - L. Siegl
AU  - B. Rellinghaus
AU  - L. M. Eng
AU  - K. Nielsch
AU  - S. T. B. Goennenwein
AU  - A. Thomas
PY  - 2022
DO  - 10.1103/physrevmaterials.6.044411
UR  - https://arxiv.org/abs/2104.10293
ID  - 2104.10293
ER  -