TY - RPRT TI - Transverse Ultrafast Laser Inscription in Bulk Silicon AU - M. Chambonneau AU - M. Blothe AU - Q. Li AU - V. Yu. Fedorov AU - T. Heuermann AU - M. Gebhardt AU - C. Gaida AU - S. Tertelmann AU - F. Sotier AU - J. Limpert AU - S. Tzortzakis AU - S. Nolte PY - 2021 DO - 10.1103/physrevresearch.3.043037 UR - https://arxiv.org/abs/2104.12084 ID - 2104.12084 ER -