TY  - RPRT
TI  - Grazing incidence X-ray fluorescence based characterization of nanostructures for element sensitive profile reconstruction
AU  - Anna Andrle
AU  - Philipp Hönicke
AU  - Philipp Schneider
AU  - Yves Kayser
AU  - Martin Hammerschmidt
AU  - Sven Burger
AU  - Frank Scholze
AU  - Burkhard Beckhoff
AU  - Victor Soltwisch
PY  - 2021
DO  - 10.1117/12.2526082
UR  - https://arxiv.org/abs/2104.13749
ID  - 2104.13749
ER  -