TY  - RPRT
TI  - Thermal IR detection with nanoelectromechanical silicon nitride trampoline resonators
AU  - Markus Piller
AU  - Johannes Hiesberger
AU  - Elisabeth Wistrela
AU  - Paolo Martini
AU  - Niklas Luhmann
AU  - Silvan Schmid
PY  - 2022
UR  - https://arxiv.org/abs/2105.03999
ID  - 2105.03999
ER  -