TY - RPRT TI - On the exceptional temperature stability of ferroelectric AlScN thin films AU - MD Redwanul Islam AU - Niklas Wolff AU - Mohammed Yassine AU - Georg Schönweger AU - Björn Christian AU - Hermann Kohlstedt AU - Oliver Ambacher AU - Fabian Lofink AU - Lorenz Kienle AU - Simon Fichtner PY - 2021 DO - 10.1063/5.0053649 UR - https://arxiv.org/abs/2105.08331 ID - 2105.08331 ER -