TY  - RPRT
TI  - Planar and 3-dimensional damage free etching of $β$-Ga2O3 using atomic gallium flux
AU  - Nidhin Kurian Kalarickal
AU  - Andreas Fiedler
AU  - Sushovan Dhara
AU  - Mohammad Wahidur Rahman
AU  - Taeyoung Kim
AU  - Zhanbo Xia
AU  - Zane Jamal Eddine
AU  - Ashok Dheenan
AU  - Mark Brenner
AU  - Siddharth Rajan
PY  - 2021
DO  - 10.1063/5.0057203
UR  - https://arxiv.org/abs/2105.09503
ID  - 2105.09503
ER  -