TY  - RPRT
TI  - EUV-induced Hydrogen Plasma : Pulsed Mode Operation and Confinement in Scanner
AU  - Mark van de Kerkhof
AU  - Andrei M. Yakunin
AU  - Dmitry Astakhov
AU  - Maarten van Kampen
AU  - Ruud van der Horst
AU  - Vadim Banine
PY  - 2021
UR  - https://arxiv.org/abs/2105.10029
ID  - 2105.10029
ER  -