TY  - RPRT
TI  - The impact of stochastic incorporation on atomic-precision Si:P arrays
AU  - Jeffrey A. Ivie
AU  - Quinn Campbell
AU  - Justin C. Koepke
AU  - Mitchell I. Brickson
AU  - Peter A. Schultz
AU  - Richard P. Muller
AU  - Andrew M. Mounce
AU  - Daniel R. Ward
AU  - Malcom S. Carroll
AU  - Ezra Bussmann
AU  - Andrew D. Baczewski
AU  - Shashank Misra
PY  - 2021
DO  - 10.1103/physrevapplied.16.054037
UR  - https://arxiv.org/abs/2105.12074
ID  - 2105.12074
ER  -