TY  - RPRT
TI  - High mobility SiMOSFETs fabricated in a full 300mm CMOS process
AU  - Timothy N. Camenzind
AU  - Asser Elsayed
AU  - Fahd A. Mohiyaddin
AU  - Ruoyu Li
AU  - Stefan Kubicek
AU  - Julien Jussot
AU  - Pol Van Dorpe
AU  - Bogdan Govoreanu
AU  - Iuliana Radu
AU  - Dominik M. Zumbühl
PY  - 2021
UR  - https://arxiv.org/abs/2106.05254
ID  - 2106.05254
ER  -