TY  - RPRT
TI  - Investigation of superconducting properties of NbN films deposited by DC magnetron sputtering on high-k dielectric HfO2 buffer layer
AU  - N. V. Porokhov
AU  - A. P. Sirotina
AU  - E. A. Pershina
AU  - M. V. Shibalov
AU  - G. D. Diudbin
AU  - A. V. Mumlyakov
AU  - E. R. Timofeeva
AU  - I. V. Trofimov
AU  - A. M. Tagachenkov
AU  - Yu. V. Anufriev
AU  - E. V. Zenova
AU  - M. A. Tarkhov
PY  - 2021
DO  - 10.1088/1361-6668/ac216a
UR  - https://arxiv.org/abs/2106.15680
ID  - 2106.15680
ER  -